热门关键词:亚博网页版,亚博网页版登录,亚博在线登录入口  
当前位置:首页 > 案例展示
亚博网页版_感知“利”器:耦合谐振的谐振式应变传感器
2021-01-26 [89740]

亚博在线登录入口:突发事件传感器又称应变计(straingauge)是一种常用的传感器,它利用了弹性材料(金属、合金、半导体或者金属陶瓷)的压阻特性来检测被测结构的于是以突发事件与剪切突发事件,它普遍应用于结构身体健康监测中,覆盖面积的应用领域还包括土木工程、机械、航天、医疗以及可穿着系统等。比起于传统的应变片,硅基谐振式突发事件传感器具备灵敏度低、甘漂小、定数字化输入、抗干扰能力强劲等特点,是一类高性能的突发事件传感器。

亚博在线登录入口

硅基谐振式突发事件传感器一般使用双端固支音叉结构(DoubleEndedTuningFork,DETF)的谐振式传感器。通过将两根双端固支梁并联,并使两根梁的振动反互为,构成音叉结构,来取得较高的品质因数(Q值)。目前,硅基谐振式突发事件传感器的主要问题在于,硅微机械结构不受空气阻尼的影响较小,在常压下难以获得较高的Q值,必需使用真空PCB,而目前较成熟期的微机械真空PCB技术一般必须多达400度的高温工艺或者必须用于较低渗透率的PCB材料并融合吸气剂,这两类工艺与硅基谐振式突发事件传感结构的兼容性较好。

日本横河电机株式会社研制的高精度谐振式压力传感器中使用了一种H型谐振式突发事件脆弱结构。该结构使用均质的H型梁,通过电磁驱动使H型梁的4个臂振动,通过电磁检测振动频率随形变的变化。由于该结构为均质硅结构,没金属引线,可以使用高温的硅外延工艺构建真空PCB。

亚博网页版登录

但是,该结构必需使用电磁驱动、电磁检测,当用于突发事件传感器时,电磁铁的PCB可玩性大。【亚博在线登录入口】。

本文来源:亚博在线登录入口-www.sashacanada.com